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白光干涉位移计(3D)是向测量区域以“面”发射光的位移计。几乎不受工件材质及颜色的影响而以面的光进行同轴测量,因此不发生因狭窄位置或🍃凹槽边沿等凹凸形状遮挡反射光的情况。可使用高度信息进行高度差、宽度、角度、体积、粗糙度、平坦度等各种测量。
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采用白光干涉原理,可实现高速、高精度꧋的3D测量。支持从高度差/体积测量等的测量到宽度/面积等各种测量。
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针对最大 10 × 10 mm 的测量区域,可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理,不受材质/颜色、死角的影响,实现了微米级的高精度测🧔量。
测量多点时,需要高精度且高速扫描目标物。 因此,会将时间浪费在移动载物台上,不易进行全数检测。 由于 𓆉WI-5000 系列是以面进行同时测量,因此可大幅缩短测量时间,实现全数检测。
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